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金屬蝕刻過程的控製
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金屬蝕刻過程的控製

作者:JXSCWJ    發布時間:2017-07-13 19:04:43     瀏覽次數 :


 
       金屬蝕(shí)刻質量的保證主要來自於對蝕(shí)刻過程的控製,金屬蝕刻過程的控製分為(wéi)化學參數控製和物理(lǐ)參數控製。

1.化學參數控製

化學參數控製對於維持蝕刻液均勻的蝕(shí)刻速度(dù)是(shì)非常關鍵的,化學參數控製主要包括溶液濃度的控製和溶液中(zhōng)各組分之間的(de)比例控製(zhì)。對這(zhè)兩方麵的控製,前者的濃度控製容易,可以通過分析的方法(fǎ)就能確定溶液中成分的(de)消耗情(qíng)況。而對於後者控製難度要(yào)大一些主要是因(yīn)為蝕刻(kè)液中的添加物質含量較低,並且可(kě)能是一些較難分析的材料,或和(hé)蝕刻液中的主料分離較為困(kùn)難(nán)。
化學(xué)參(cān)數控製的依據來源於(yú)對溶液成分的分析而不是經(jīng)驗的(de)估(gū)計,當然對於一些(xiē)小廠並不排除操作者可以通過觀察蝕刻過程進行的激烈程(chéng)度、被蝕刻金屬表麵的狀態以及溶液顏色的變化再根據經驗來進行調節,並滿足在一定程度上的可控性(xìng)。這種方式對於成分單一的蝕(shí)刻液具有一定的(de)實(shí)用性,但對於成分組(zǔ)成複雜,同時對金屬蝕刻深度均一性要求較高的(de)工件,采用(yòng)這種方法有(yǒu)很大的局限性,難於保證批量生(shēng)產的需要(yào)。從保證產品質量穩定的角度出發,要求蝕刻廠能把分(fèn)析結果作為調整蝕刻液的依據。
化學蝕刻溶液的分析周期主要受(shòu)以下(xià)幾方麵因素的影響:①溶液體積;②溶液(yè)的初始濃度;③單位體積的負荷量;④蝕刻量(一般以日為單位)。對這幾方麵的(de)影響因素很容易理解(jiě),溶液體積小、溶液初始濃度低、單位體積的負荷量較大的情況(kuàng)下,蝕刻(kè)液成分的變化速度就快其分析周期就較短,反之則長。通常而言,如果蝕刻溶液體積不(bú)大,批量生產的情況下應保持每個班次分析一次(這裏的班次是以8h為一個(gè)生產周期計算)。

2.物理參數控(kòng)製

物理(lǐ)參數的控製分為通用參數控製及蝕刻方式所決定的其他參數控製。通(tōng)用參數控製主要是對在蝕刻過程中時間、溫度進行控製:由蝕刻方式所決定的其他參(cān)數控製包括浸泡(pào)蝕刻的溶液攪拌程度的控製以及噴射(shè)蝕(shí)刻的噴射壓力的控製。在化學參(cān)數可控範圍內,物理參數的控製對(duì)於維持其蝕刻速度的恒定及蝕刻均勻性是(shì)非常重要的。物(wù)理(lǐ)參數的控製相對於化學參數(shù)的控製來說要容易得多,也直觀得多(duō)。同(tóng)時,一些設備對溫度、時間及噴射壓力都有自控裝置,隻需要預先將這(zhè)些參數輸人即可。
任何金屬蝕刻都一定有(yǒu)兩個需要控製的指標,即深度和表麵平滑度。雖然物理因素和化學因素的變化都會對蝕(shí)刻深度及表麵平滑度(dù)產生(shēng)影響,但在(zài)確定的蝕(shí)刻液(yè)成分及(jí)濃度的情況下,對深度的影響主要是物理因素,在溫度、壓力恒(héng)定的前提下,確保蝕刻深度指標的因素是蝕刻時間(jiān),在實際生產中也是通過時間來對蝕刻深度進行控製。而(ér)對於表麵(miàn)平滑度,雖然溫(wēn)度的變化會(huì)有一定的影響,但主要還是(shì)受(shòu)蝕(shí)刻液的化學組分的影響(xiǎng),在化學組中添加物質對表麵平滑(huá)度的影響比蝕刻(kè)主劑的影(yǐng)響更大,同時調整也更困難,但可(kě)以通過實驗確定一個單位麵積消耗量(liàng)的經(jīng)驗(yàn)值來控製。


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